سمانه غفرانی، مریم علیزاده ذوالبین، معصومه معدنیپور،سمانه غفرانی ، مریم علیزاده ذوالبین، معصومه معدنیپور

1.پژوهشگاه مواد و انرژی، کارشناسی ارشد مهندسی مواد و سرامیک

پژوهشگاه مواد و انرژی، کارشناسی ارشد مهندسی مواد و سرامیک-2

پژوهشگاه مواد و انرژی،کارشناسی ارشد مهندسی مواد و متالورژی-3

مرکز تحقیقات فرآوری مواد معدنی ایران، کارشناسی ارشد مهندسی مواد و متالورژی-4

5-ستاد فناوری نانو،کارگروه میکروسکوپ الکترونی روبشی

چکیده

چکیدهامروزه مطالعه درباره خواص مواد بدون آگاهی از اطلاعات مربوط بهریزساختارآنها امکانپذیر نیست. به منظوردستیابی به این مهم، استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی بسیار رایج و حائز اهمیت میباشد. با توجه بهضرورت بکارگیری باریکه الکترونی برای تصویرگیری در این میکروسکوپها و با در نظر گرفتن این مسئله کهطیف گستردهای از مواد هدایت الکتریکی مناسبی ندارند،استفاده ازاین روش باعث بروز مشکلاتی جهت رسیدن بهنتایج مطلوب می شود. برای این منظور، استفاده از پوشش هادی روی سطح نمونههای نیمه رسانا و نارسانا بهعنوانبهترین راهکار ارائه شده است که به طور گستردهای مورد استفاده قرار میگیرد.این مقاله تلاشی است در جهت معرفی انواع پوششهای مورد استفاده روی نمونههای مورد بررسی در میکروسکوپالکترونی روبشی و در ادامهنیز به دلایل استفاده از هریک از آنها و انواع روشهای پوششدهی خواهیم پرداخت.

کلید واژه: میکروسکوپ الکترونی روبشی، پوشش، هدایت الکتریکی